半导体零件加工之决窍

    安稳性是成功的关键所在

 

    某些机加工车间发现半导体零件难以有用加工，但这种观念并不代表现代加工办法和刀具的发展趋势。之所以困难，部分是由于半导体零件加工是新兴工艺，缺少可借鉴的经历。此外，困难一般与期望值及操作者的经历相关，特别是有些人现已习惯了铸铁或低合金钢等资料的加工方式，这些资料的加工要求一般很低。比较之下，加工半导体零件好像更困难些，由于加工时不能选用相同的刀具和相同的速率，而且刀具的寿数也不同。即使与某些不锈钢比较，半导体零件加工的难度也依然要高。固然可以说，加工半导体零件有必要采取不同的切削速度和进给量以及一定的预防措施。其实与大多数资料比较，半导体零件也是一种彻底可直接加工的资料。只需半导体零件安稳，装夹结实，机床的挑选正确，动力适宜，工况良好，而且装备具有较短刀具悬伸的ISO50主轴，则所有问题都会迎刃而解——只需切削刀具正确的话。

 

    但在实际铣削加工中，半导体零件加工所需的条件不简单悉数满意，由于理想的安稳条件并不总是具有。此外，许多半导体零件的形状复杂，或许包括许多细密或深长的型腔、薄壁、斜面和薄托座。要想成功加工这样的零件，就需求运用大悬伸、小直径刀具，这都会影响刀具安稳性。在加工半导体零件时，往往更简单呈现潜在的安稳性问题。
 

 

 

    精度、条件和正确的切削参数

 

    刀具轴向和径向上的跳动精度也很重要。例如，假如未将刀片正确地安装到铣刀中，则铣刀周围的切削刃会敏捷损坏。在切削半导体零件时，其它一些要素，例如刀具制造公役不良、磨损和刀具受损、刀柄有缺点或质量差、机床主轴磨损等等，都会在很大程度上影响到刀具寿数。调查成果表明，在所有加工表现不佳的案例中，80％都是由这些要素所形成。虽然大多数人喜爱选用正前角槽形刀具，但事实上稍带负前角槽形的刀具能以更高的进给去除资料，而且每齿进给量可达0.5mm。可是这同时也意味着有必要坚持最佳安稳状况，即机床应非常巩固，且装夹应极其安稳。　　除进行插铣（最好运用圆刀片）之外，应尽量防止运用90主偏角，这样做一般有助于进步安稳性和取得整体性能，当在浅切深下运用时尤应如此，在进行深腔铣时，一种值得推荐的做法是通过刀具接柄而运用长度可变的刀具，而不是在整个工序中运用单一长度的长刀具。

 

    调整切削参数以克服因下降每齿进给量而引起的振荡是传统的解决办法，但这种办法并不恰当，由于它会对刀具寿数和切削性能发生灾难性影响。可转位刀片需求一定量的切削刃倒圆，以添加切削刃强度和取得更好的涂层粘附力。在铣削半导体零件时，要求刀具至少以最小的进给量工作——一般为每齿0.1mm。假如扔有振荡趋势，则刀片损坏或刀具寿数缩短问题将不可防止。或许的解决办法包括准确核算每齿进给量，并确保它至少为0.1mm。

 

    别的也可下降主轴转速，以到达开始的进给率。假如运用最小的每齿进给量，而主轴转速却不正确，则对刀具寿数的影响可高达95%。下降主轴转速一般可进步刀具寿数。

 

    一旦确立了安稳工况，就可相应地进步主轴转速和进给量来取得最佳性能。另一种做法是从铣刀中取出一些刀片或挑选含刀片较少的铣刀。